超低溫等離子清洗機(jī)在進(jìn)行清洗時(shí)，工作氣體往往用氧氣，它被加速了的電子轟擊成氧離子、自由基后，氧化性較強(qiáng)。工件表面的污物，如油脂、助焊劑、感光膜、脫膜劑、沖床油等，很快就會(huì)被氧化成二氧化碳和水，被真空泵抽走，從而達(dá)到清潔表面,改善浸潤(rùn)性和粘結(jié)性的目的。

超低溫等離子清洗機(jī)的處理僅涉及材料的淺表面( <10nm),不會(huì)對(duì)材料主體的性質(zhì)產(chǎn)生影響。由于等離子體清洗是在高真空下進(jìn)行的，所以等離子體中的各種活性離子的自由程很長(zhǎng)，他們的穿透和滲透能力很強(qiáng)，可以進(jìn)行復(fù)雜結(jié)構(gòu)的處理，包括細(xì)管和盲孔。

超低溫等離子清洗機(jī)的工藝原理為很多乙烯基單體，如乙烯、苯乙烯等在等離子體條件下，不要其他任何催化劑和引發(fā)劑而在工件表面實(shí)現(xiàn)聚合，甚至甲烷，乙烷，苯這些在常規(guī)聚合條件下不能聚合的物質(zhì)，都可以在等離子體條件下在工件表面實(shí)現(xiàn)交聯(lián)聚合。