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產品功能
適用于太陽能電池制程,對矽晶片之邊緣做蝕刻
產品特色
.高密度等離子源
.處理速度快、產能高、可靠度高
.可選擇的操作參數多
.設備穩(wěn)定度高,容易維護
.全自動且容易操作
.可依客戶需求作更改
可應用范圍
.太陽能電池
.太陽能矽晶片邊緣做蝕刻
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產品功能適用于太陽能電池制程,...