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產品功能
等離子光譜分析儀為非侵入式的等離子分析儀器，能夠進行等離子的監(jiān)控及分析制程中等離子元素特性，幫助提升制程的監(jiān)控性并提供制程后續(xù)分析能力。
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產品特色
．真空內置式偵測頭
．防鍍膜組
．能觀測特定波長
．能控制流量計
．能擴充至4組流量計控制
．等離子光譜成分后續(xù)分析功能
．客制化
可應用范圍
．LED 產業(yè)
．太陽能產業(yè)
．半導體產業(yè)
．光電產業(yè)
．等離子鍍膜產業(yè)
．等離子處理系統
．光學產業(yè)
．學術研究
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