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東莞等離子輔助化學氣相沉積系統(tǒng)
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產(chǎn)品特色

.大面積均勻性

.高鍍膜速率

.低溫真空鍍膜

.可通入多組氣體

.易操作及易維護

.可以客戶做修改

.可搭配制等離子光譜分析儀做制程等離子監(jiān)控及控制


可應用范圍

.半導體產(chǎn)業(yè)

.太陽能產(chǎn)業(yè)

.LED產(chǎn)業(yè)

.光電產(chǎn)業(yè)

.鍍膜制程

.學術研究


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