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干式超聲波(USC)

超聲波清潔的原理是藉由超聲波突破邊界層，將振動(dòng)能量傳遞至灰塵，進(jìn)而與基板分離后，由兩側(cè)的排氣口吸除,優(yōu)點(diǎn)在于不需要用水即可清洗掉落塵?？蓮V泛用于LCM貼合、半導(dǎo)體封裝等工藝。

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