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產(chǎn)品特色
．可設(shè)置2組Sputter及2側(cè)陰極電弧模組。
．整合PVD及PECVD系統(tǒng)技術(shù)，可以制備附著性極佳之Me/DLC復(fù)合鍍層技術(shù)。
．可彈性應(yīng)用于刀工具硬質(zhì)膜層之制作及耐磨耗零件之Me/DLC披覆。
．可制備：TiN、AlTiN、AlCrN、ZrN、WCC、Me/DLC等。
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