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產(chǎn)品功能
.符合等離子特性的電氣規(guī)格
.具備定功率,定電壓,定電流
.內(nèi)建電弧保護(hù)功能
.內(nèi)建過(guò)電壓,過(guò)電流,過(guò)熱,過(guò)載等保護(hù)功能
.可用于單雙火線的等離子系統(tǒng)
. PLC 使用者介面相容于AE-Pinnacle 或ADL-GSW (擇一)
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產(chǎn)品特色
.?dāng)?shù)位控制系統(tǒng)
.設(shè)定范圍廣
.高等離子密度
.可客制化洽詢
可應(yīng)用范圍
.真空鍍膜制程之清洗處理
.等離子輔助化學(xué)沉積制程
.等離子輔助濺鍍制程
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