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產(chǎn)品特色
．整合系統(tǒng)可制備Me/DLC復(fù)合涂層。以Sputter系統(tǒng)制備具細(xì)致柱狀結(jié)構(gòu)之金屬氮碳化物涂層并額外提供PECVD系統(tǒng)之平滑磨潤之DLC膜層。
．Cr/CrN/DLC、Cr/WC:H/DLC(Ti系、Zr系等應(yīng)用)。
．Cr/WC:H/DLC應(yīng)用在不銹鋼微整型模塊，可增加約3倍壽命。
．具沖擊、磨耗場合之應(yīng)用零件，例：螺絲、螺帽、鉚釘之沖棒、汽車零組件等。
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