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產(chǎn)品特色
．高密度等離子源，等離子效率高，減少制程時間
．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計
．處理之均勻性佳
．等離子均勻性佳
．可使用多種制程氣體
．全自動且容易操作
．設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護
．可根據(jù)客戶需求設(shè)計專用特殊規(guī)格之機臺
可應(yīng)用范圍
．PCB、FPC
．印刷或黏著前之表面粗化或清潔
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