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產(chǎn)品特色
．高密度等離子源，等離子效率高，減少制程時(shí)間
．特殊之氣體進(jìn)氣、擴(kuò)散及抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
．處理之均勻性佳
．等離子均勻性佳
．可使用多種制程氣體
．全自動(dòng)且容易操作
．設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護(hù)
．可根據(jù)客戶需求設(shè)計(jì)專用特殊規(guī)格之機(jī)臺(tái)
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