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產(chǎn)品特色
.高沉積速度,好的鍍膜均勻度
.可安裝濺鍍槍3支
.可通入多組氣體
.可增加偏壓
.容易操作和維護(hù)
.全自動(dòng)及機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性高
.可依照客戶需求
.可搭配等離子光譜分析儀做等離子強(qiáng)度分析及控制
可應(yīng)用范圍
.LED產(chǎn)業(yè)
.太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)
.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
.學(xué)術(shù)研究
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