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PVD系統(tǒng)

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無錫高真空濺鍍系統(tǒng)CF-SP01 (X、Z)
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詳情介紹

產品特色

.高沉積速度,好的鍍膜均勻度

.可安裝濺鍍槍3支

.可通入多組氣體

.可增加偏壓

.容易操作和維護

.全自動及機臺穩(wěn)定性高

.可依照客戶需求

.可搭配等離子光譜分析儀做等離子強度分析及控制


可應用范圍

.LED產業(yè)

.太陽能產業(yè)

.半導體產業(yè)

.學術研究


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