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產品特色
.納米復合硬質涂層設備
.采陰極電弧鍍膜技術,可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源
.圓形靶靶材利用率高
.真空零配件均采進口元件
.特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)
.系統(tǒng)采夾層式水路冷卻;八邊形不銹鋼腔體
.搭載4 組Heater,可均勻升溫至450℃
.搭載超高真空渦輪幫浦
. 8軸3層公自轉機構,產能大且膜層均勻
.置具臺車方便Loading /Unloading生產,提供生產效率
.全自動化鍍膜生產,可遠端網路診斷及程式除錯
.可鍍膜種類:TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…
可應用范圍
.銑削、車削、鉆孔、攻牙之刀工具
成型、沖壓之模具
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