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產品特色

．納米復合硬質涂層設備

．采陰極電弧鍍膜技術，可安裝4~8組6吋圓形陰極弧源

．圓形靶靶材利用率高

．真空零配件均采進口元件

．特殊幾何形狀檔板(遮蔽靶源)

．系統采夾層式水路冷卻；八邊形不銹鋼腔體

．搭載4 組Heater，可均勻升溫至450℃

．搭載超高真空渦輪幫浦

． 8軸3層公自轉機構，產能大且膜層均勻

．置具臺車方便Loading /Unloading生產，提供生產效率

．全自動化鍍膜生產，可遠端網路診斷及程式除錯

．可鍍膜種類：TiN、CrN、ZrN、TiSiN、TiAlN、AlTiN、AlCrN、AlTiCrN、AlTiSiN、TiX、G1…

可應用范圍

．銑削、車削、鉆孔、攻牙之刀工具

成型、沖壓之模具