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真空R2R等離子設備

產(chǎn)品功能

可進行去膠渣、表面清潔、活化、改善、接枝或粗糙化等

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產(chǎn)品特色

．高密度等離子源，等離子效率高，減少制程時間

．特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統(tǒng)設計

．處理之均勻性佳

．等離子均勻性佳

．可使用多種制程氣體

．全自動且容易操作

．設備穩(wěn)定高，容易維護

．可根據(jù)客戶需求設計專用特殊規(guī)格之機臺

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